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半導體生產製程包含精密的微機電和積體電路,對於生產環境之潔淨度的要求特別嚴格,因此整個製造過程都必須在嚴格控制的環境條件下進行。隨著製程特徵尺寸(feature size)快速縮小,潔淨室環境空氣品質的要求也更為嚴苛。

MiTAP 系列產品提供完整 VOC 監測運用,從環境監測、晶圓搬運盒(FOUP)潔淨度確認到設備機台內的汙染管控,都有最符合經濟效益的解決方案。

  1. 全廠環境監測
    潔淨室環境之可能VOC污染源,包括了潔淨室外之汙染氣體、製程反應逸散、設備材料本身揮發產生及設備維護過程氣體揮發等。相關 MiTAP 運用有:
    1. VOC 基線設置與預防性警告系統
    2. 端點交叉污染驗證
    3. 污染質生命週期監控)
  2. 濾網效能檢測
    長期、連續的監測資料,能提供完整之性能曲線報告,協助審核評估化學濾網效能,掌握最佳更換時機,取得成本與效益間的最佳平衡點。

  3. 製程中晶圓搬運盒潔淨度檢測
    MiTAP應用可直接與晶圓搬運盒清潔系統整合,亦或於製程中設置監測點。於晶圓製程中,有效確認晶圓搬運盒的潔淨度,可避免晶圓受到搬運盒釋氣(outgassing)汙染,以確保產品良率。此外,此項監測資料亦可作為業主審核評估晶圓搬運盒之汰換時機點。

  4. 廠內主要氣質檢測
    監控廠區內主要氣體的潔淨度,此項檢測能確保主氣體不受汙染,影響產品良率。

  5. 製程污染鑑定
    於現地單點或搭配多點採樣系統,對製程中之設備進行內外VOC濃度值監測,並透過網路將監測結果回傳至中控端,幫助業主了解掌握汙染狀況,即時應對,減少汙染可能造成的良率下降。