MAR
2019
「MiTAP™」VOC分析儀
台積電(TSMC)指定採用並給予高度肯定感謝狀
唯一認可,可與實驗室數據比對之現地 VOC 監測系統
創控科技「MiTAP」VOC (揮發性有機物) 微型氣相分析儀,為世界首創將實驗室等級檢測性能 (0.1ppb) 設置於現場作業之在線監測系統。整合高濃縮採樣系統、微型氣相層析模組、陣列式感測器、與先進電控運算等創新技術,提供半導體客戶固定式與移動式的 VOC 監測方案,滿足先進製程中各式 AMC 氣體微污染監控管控需求。
更多資訊微型現地氣體分析平台