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企業快訊
06.Apr.2015

創控科技榮獲台積電先進製程高度肯定獎

「MiTAP™」VOC分析儀

台積電(TSMC)指定採用並給予高度肯定感謝狀

唯一認可,可與實驗室數據比對之現地 VOC 監測系統

 

創控科技「MiTAP」VOC (揮發性有機物) 微型氣相分析儀,為世界首創將實驗室等級檢測性能 (0.1ppb) 設置於現場作業之在線監測系統。整合高濃縮採樣系統、微型氣相層析模組、陣列式感測器、與先進電控運算等創新技術,提供半導體客戶固定式與移動式的 VOC 監測方案,滿足先進製程中各式 AMC 氣體微污染監控管控需求。

  • 創控科技之 MiTAP 系統,成功解決業界無法現地連續並穩定監測 VOC 之問題。
  • 創控科技積極協助 TSMC 其 AMC 管控及改善。
  • 經嚴峻測試與驗證,TSMC 認證 MiTAP 為其 AMC VOC 現地監測系統。

 
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