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企業快訊
06.Sep.2023
創控科技於SEMICON Taiwan發表次世代AMC微污染量測技術應用
創控科技於SEMICON Taiwan發表次世代AMC微污染量測技術應用
2023年9月5日
全球AMC及VOCs監測領導廠商創控科技(6909)，將於2023 SEMICON Taiwan國際半導體展期間，在南港展覽館二館1樓（攤位Q5744），展示台灣唯一微型VOCs精密檢測儀MiTAP，把實驗室檢測等級的設備微型化搬至展場內，模擬現地即時、連續檢測的場景。
隨著半導體製程演進，晶圓線寬持續降低，受到氣體分子沉積的影響就會越明顯，此時微污染監控就日顯重要。創控團隊持續與先進製程廠商齊步同行，導入AI技術突破創新，發展「無人搬運車(AGV) 」與「Smart FOUP」兩大應用平台，並於SEMICON Taiwan的創新技術發表會TechXPOT舞台，首次對外發表「次世代AMC微污染量測技術應用」。
創控科技表示，原先MiTAP產品藉由客製化且24小時連續檢測，已滿足各大半導體廠商的各種需求，成為製程不可或缺的一環；不過為了更精準掌握每一個製程潔淨度變化，創控將MiTAP結合無人搬運車(AGV)平台，運用AI技術讓智慧巡檢機器人可以跟著製程移動，做到現地一條龍檢測，有效掌握製程環境變化；Smart FOUP平台則是將分析設備結合自動化物料搬送系統(AMHS)，檢測晶圓每一個移動路徑，包含氣體潔淨度(TVOCs)、溫度、濕度、震動…等晶圓須注意之環境條件。
創控科技的MiTAP系列產品提供Lab-to-Fab氣體分子污染物(AMC)監測方案，憑藉「特定多項目標化合物分析」、「現地即時檢測」等技術，偵測極限達到大型實驗室標準等級，創造出兼具移動性、即時性、高頻率監測分析。隨著半導體製程持續微縮，微污染監測指示會越趨嚴格及多元，創控科技的監測方案，將協助客戶創造產品競爭優勢與價值，並能符合國際環保法規。
新聞聯絡人：
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創控科技 呂秀孺財務長暨發言人；Email：tct-ir@tricorntech.com；連絡電話：(02)2223-0707
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