半導體製程控管
半導體生產製程包含精密的微機電和積體電路，對於生產環境之潔淨度的要求特別嚴格，因此整個製造過程都必須在嚴格控制的環境條件下進行。隨著製程特徵尺寸（feature size）快速縮小，潔淨室環境空氣品質的要求也更為嚴苛。
MiTAP 系列產品提供完整 VOC 監測運用，從環境監測、晶圓搬運盒（FOUP）潔淨度確認到設備機台內的汙染管控，都有最符合經濟效益的解決方案。
1.全廠環境監測
潔淨室環境之可能VOC污染源，包括了潔淨室外之汙染氣體、製程反應逸散、設備材料本身揮發產生及設備維護過程氣體揮發等。相關 MiTAP 運用包括有VOC 基線設置與預防性警告系統，端點交叉污染驗證及污染質生命週期監控等。
2.濾網效能檢測
長期、連續的監測資料，能提供完整之性能曲線報告，協助審核評估化學濾網效能，掌握最佳更換時機，取得成本與效益間的最佳平衡點。
3.製程中晶圓搬運盒潔淨度檢測
MiTAP應用可直接與晶圓搬運盒清潔系統整合，亦或於製程中設置監測點。於晶圓製程中，有效確認晶圓搬運盒的潔淨度，可避免晶圓受到搬運盒釋氣（outgassing）汙染，以確保產品良率。此外，此項監測資料亦可作為業主審核評估晶圓搬運盒之汰換時機點。
4.廠內主要氣質檢測
監控廠區內主要氣體的潔淨度，此項檢測能確保主氣體不受汙染，影響產品良率。
5.製程污染鑑定
於現地單點或搭配多點採樣系統，對製程中之設備進行內外VOC濃度值監測，並透過網路將監測結果回傳至中控端，幫助業主了解掌握汙染狀況，即時應對，減少汙染可能造成的良率下降。
MiTAP 系列產品提供完整 VOC 監測運用，從環境監測、晶圓搬運盒（FOUP）潔淨度確認到設備機台內的汙染管控，都有最符合經濟效益的解決方案。
1.全廠環境監測
潔淨室環境之可能VOC污染源，包括了潔淨室外之汙染氣體、製程反應逸散、設備材料本身揮發產生及設備維護過程氣體揮發等。相關 MiTAP 運用包括有VOC 基線設置與預防性警告系統，端點交叉污染驗證及污染質生命週期監控等。
2.濾網效能檢測
長期、連續的監測資料，能提供完整之性能曲線報告，協助審核評估化學濾網效能，掌握最佳更換時機，取得成本與效益間的最佳平衡點。
3.製程中晶圓搬運盒潔淨度檢測
MiTAP應用可直接與晶圓搬運盒清潔系統整合，亦或於製程中設置監測點。於晶圓製程中，有效確認晶圓搬運盒的潔淨度，可避免晶圓受到搬運盒釋氣（outgassing）汙染，以確保產品良率。此外，此項監測資料亦可作為業主審核評估晶圓搬運盒之汰換時機點。
4.廠內主要氣質檢測
監控廠區內主要氣體的潔淨度，此項檢測能確保主氣體不受汙染，影響產品良率。
5.製程污染鑑定
於現地單點或搭配多點採樣系統，對製程中之設備進行內外VOC濃度值監測，並透過網路將監測結果回傳至中控端，幫助業主了解掌握汙染狀況，即時應對，減少汙染可能造成的良率下降。
